介質(zhì)要求：

潔凈干燥無腐蝕性氣體

介質(zhì)種類：

空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳

氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等

量程：

0...50/100/500/1000SCCM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)

0...5/100 SLM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)

精度 ：

0.5% F.S.

1.0% F.S.

分辨率：

*低 0.01SCCM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)

響應(yīng)時間：

≤1S

環(huán)境條件

介質(zhì)溫度：

0...50℃

工作溫度：

-20...70℃

工作濕度：

10%...90%RH（無結(jié)冰，無凝露）

工作壓力：

0...10bar

儲存溫度：

-20...85℃

電氣參數(shù)

供電電壓：

DC24V，紋波 ≤50mV

功耗：

≤3.2W（有屏幕）

≤2.4W（無屏幕）

啟動時間：

≤1S

預(yù)熱時間：

≤10mS

通信接口

模擬信號（電流、電壓）

接口類型：

D-SUB 9 針

電流信號：

4...20mA (線性對應(yīng)量程)

電壓信號：

1...5V (線性對應(yīng)量程)

數(shù)字信號（RS485）

接口類型：

RJ45和D-SUB 9 針

通信速率：

4800

1280

協(xié)議：

RS485（默認 Modbus-RTU協(xié)議）

設(shè)備地址：

1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改)

最大節(jié)點數(shù)：

250

機械參數(shù)

過程連接類型：

卡套：8mm、12mm

快插：6mm，8mm

協(xié)議定制

主體材質(zhì)：

接液底座：AlZnMgCu1.5/3.4365鋁合金（7075航空鋁）

不銹鋼1.4301(不銹鋼304)

不銹鋼1.4435(不銹鋼316L)

外殼：碳鋼

密封材質(zhì)：

FKM 氟橡膠

重量：

鋁：≈0.75kg

不銹鋼：≈1.5kg